第九十二章 12纳米
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在物理研究所安装激光器的同时,各个附属设施也在建设之中,不过研发惯性束缚核聚变,并没有那么简单。
在大羿科研基地那边的魏风,已经进行了三次等离子体实验,分别是1分钟等离子体控制、5分钟等离子体控制、10分钟等离子体控制。
从反应的情况来看,实验非常成功,俩人一起搭建的等离子体湍流模型,将等离子体这个患有多动症的问题儿童,牢牢地安置在反应室内里面。
不过控制等离子体不过是万里长征第一步,接下来的中子照射、持续作业、发电问题等等,有得俩人搞。
俩人通过网络视频的方式,探讨着关于惯性束缚遇到的各种问题。
与此同时。
中芯国际的江城厂区。
高致远亲自从汕美赶了过来,就是为了这一次芯片生产线试运行。
由于国内各大半导体设备制造商,最近一段时间的技术突飞猛进,已经有赶超世界一流甚至顶级的水平。
获得了上游半导体设备供应商的支持,中芯国际在研发12纳米工艺上,有如神助一样。
一条纯粹国产化芯片生产线,在一众工程师和技术员的努力下,已经可以进入试运行阶段。
“高总,我们开始吧”赵军转过头问道。
高致远点了点头。
“伟光,我们开始试运行。”
“好。”
赵军一声令下,所有人各就各位行动起来。
他们按照芯片制造的流程,从仓库取出一批八寸硅片,送入生产线之中。
流程就是清洗、烘干、镀膜、打磨、清洗、烘干、光刻
有一些流程需要反复进行,比如清洗和烘干,每一次硅片打磨、光刻、蚀刻之后,都需要清洗和烘干,确保硅片不会有残留物。
看着硅片被反复在生产线上操作,所有人都紧张万分。
赵军看着大半年的努力,此时有些坐立不安,手下意识的摸向口袋,准备拿出随身携带的香烟,不过他摸了一个空。
这时候他才反应过来,无尘车间里面是不允许吸烟的。
而李伟光、江上舟等人也好不到哪里去,要么死死地盯着生产线,要么坐立不安。
“大家,别紧张。”高致远倒是心大的安慰了众人一句。
“不紧张不行啊”赵军苦笑道。
由于光刻这个流程的时间比普通光刻机快,整个流程下来,五个小时左右。
第一块硅片终于新鲜出炉,上面密密麻麻布满了一格格芯片,现在芯片进入最后的环节,也就是分割。
中芯国际采用的分割方式是线割。
细细的金属线,在数控机床的控制下,准确无误的分割出一块块芯片。
当然此时的芯片还是半成品,需要进行封装和封测,才可以上市或者交付客商。
不过中芯国际是试运行,这块芯片不过是普通的32g储存芯片,就算是没有封装,也是可以进行测试,这是芯片制造企业内部的一种小规模自我检测。
很快切割出来的一万多块32g储存芯片,被工程师和技术员们小心翼翼的拿到检测室去。
赵军和高致远等人连忙跟着过去。
检测室投入紧张的检测之中,分成十个小组一起检测这些储存芯片。
其实用12纳米工艺来生产32g储存芯片,那是大材小用,不过谁叫中芯国际自己也是心里面没有底,怕步子迈得太大扯到蛋,只能搞一个32g储存芯片来试运行。
一旁的电脑上面,有检测成功的芯片和失败的芯片数据。
尽管中芯国际已经精益求精,可惜第一次玩12纳米工艺,芯片合格率自然是惨不忍睹,检测了500块芯片,目前合格率仅为62左右。
而且合格率,不代表合格的芯片都是一样的,这些合格芯片之中,还会划分优品、良品、合格品,目前优良品只占43左右,剩下的19是合格品,或者说次品。
“还好还好”李伟光看到这个数据并没有感到沮丧,而是感到松了一口气。
他们之前实验芯片制造,甚至有合格率比这次更加低的情况,这是每一个芯片制造企业都要面对的情况。
在新工艺的研发中,一开始合格率超过60,那已经是非常优秀的工艺了。
赵军和江上舟等人也松了一口气,前前后后忙碌了大半年,又耗费了上百亿资金,这要是合格率惨不忍睹,估计他们要被郁闷死了。
“赵总,你们估计什么时候可以形成生产力”高致远最关心的还是这个问题,毕竟中芯国际私有化之后,现在这些研发资金的大头,都是神光仪器在出。
“嗯”赵军思考了几分钟:“我们争取在春节之前,完成调试工作,将合格率提升到95以上。”
高致远点了点头:“好,那一切就拜托赵总和各位了。”
接下来的调试工作进行得非常顺利,得利于仿真空间技术的应用,加上生产线之中的设备都是国产设备,可以联网一起检测,小问题小毛病都非常容易发现,然后及时调整过来。
赵军之所以说春节之前,其实是把时间拉长了,按照他们目前的调整速度,估计在一月中旬左右,就可以完成调试工作,投入正式生产之中。
大员省。
桃园市的台积电总部。
张忠谋看完了报告之后,脸色凝重起来,一旁的几个副总也是一脸懵逼。
“中芯国际的研发速度这么快”副总蔡恭南一副见了鬼的表情。
“是呀不是说应用材料、东京电子他们禁运了设备吗”
负责内地工作的副总熊光,苦笑着摇了摇头:“内地的半导体设备制造商,已经可以提供世界一流的半导体设备了。”
“老熊,你在开玩笑吗”
熊光摊摊手回道:“我骗你干什么”
一众副总七嘴八舌的议论纷纷,显然中芯国际完成12纳米工艺的威胁,都没有内地半导体设备的威胁大。
内地半导体设备的集体提升,这才是一个可怕的问题,这意味着巴统和瓦协在这方面的限制,已经变成一张废纸,甚至起到了反作用。
张忠谋甚至可以看到未来无数的华国国产芯片冲入世界,将整个世界的芯片市场杀得片甲不留,一想到这里他就不寒而栗起来。
他已经感到一股致命危机正在向台积电席卷而来。
而且他感到有心无力,如果是中芯国际实现12纳米工艺,这并不值得台积电恐惧,问题是半导体设备国产化,将源源不断制造出无数的中芯国际。
这样一来,台积电将面临惨烈的竞争。
一场暴风雨即将来临,或许世界芯片制造产业,将在2013年年底彻底改变,大员省的芯片制造企业,最先感觉到风雨欲来的压抑。
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